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用于光刻工艺窗口最优化的方法和系统技术方案
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下载用于光刻工艺窗口最优化的方法和系统的技术资料
文档序号:3238998
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一种用于关于光刻工艺窗口的布图最优化的新型方法和系统,其促进光刻约束不被局部化,以便于提供通过工艺窗口印刷给定电路的能力,该工艺窗口超过使用常规的简化设计规则获得的工艺窗口。...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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