温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在一种实施方案中，微型器件是通过在金属电极上沉积牺牲层（步骤３０４），在牺牲层上成形可动结构（步骤３０６），然后用稀有气体氟化物腐蚀牺牲层（步骤３０８）而制成的。由于金属电极由金属材料构成，它同时又在对牺牲层的腐蚀中起防腐的作用，因此在金属...
该专利属于硅光机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅光机器公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。