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一种方法包括以下步骤：将硼注入硅衬底中的表面区域，以形成ｐ↑［＋］扩散区域；在ｐ↑［＋］扩散区域的表面注入铟，以形成铟注入层；在铟注入层上形成接触金属层；和使包括铟注入层的硅衬底中的硅与接触金属层中的金属反应，以形成硅化钛层。...
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