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一种激光束加工机，其包括用于保持工件的卡盘工作台、用于向保持在该卡盘工作台上的工件施加脉冲激光束的激光束施加装置、以及用于使该卡盘工作台和该激光束施加装置进行彼此相对的加工进给的加工进给装置，其中，该激光加工机还包括用于检测该卡盘工作台的加...
该专利属于株式会社迪斯科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪斯科授权不得商用。

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