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具有薄膜电容器结构的集成电路封装衬底制造技术
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下载具有薄膜电容器结构的集成电路封装衬底的技术资料
文档序号:3237520
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本发明涉及集成电路封装的衬底诸如封装衬底或插入衬底的制造。使用其中具有多个通路孔的绿色材料形成基底结构。随后烧结该绿色材料,使得绿色材料变成烧结陶瓷材料且该基底结构变成具有通路孔的烧结陶瓷基底结构。在烧结陶瓷基底结构的每个通路孔内形成导电通...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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