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本发明涉及使用辅助凹槽特别是使用对准标记制作集成电路装置的方法，并公开了一种集成电路装置。本发明还涉及用于制作对准标记（１５２、１５４）的方法。在该方法中，在从辅助凹槽（２４）除去材料之前执行平整化。...
该专利属于英飞凌科技股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过英飞凌科技股份公司授权不得商用。

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