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一种传感器系统，包括传感器器件（１０）和用于驱动器件（１０）的集成电路（２０）。该器件（１０）包括硅基材料的传感器主体（１）、硅基材料的上密封构件（２）和硅基材料的下密封构件（３）。上密封构件（２）和下密封构件（３）以密封方式接合在一起以共...
该专利属于松下电工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下电工株式会社授权不得商用。

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