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氮化镓基半导体器件制造技术
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下载氮化镓基半导体器件的技术资料
文档序号:3237227
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一种氮化镓基半导体器件具有p型层,所述p型层是包含p型杂质并呈现p型导电性的氮化镓化合物半导体层。所述p型层包括顶部部分和位于所述顶部部分下的内部部分。所述内部部分包含所述p型杂质元素和与之结合的氢。...
该专利属于昭和电工株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过昭和电工株式会社授权不得商用。
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