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基板保持具ＰＨ，具备：第１保持部ＰＨ１，是保持基板Ｐ；板构件Ｔ的内侧面Ｔｃ，是透过既定间隙Ａ与保持于第１保持部ＰＨ１的基板Ｐ侧面Ｐｃ相对向，具有拨液性；以及去角部Ｃ，是设于内侧面Ｔｃ上部。于基板Ｐ的侧面Ｐｃ设有具拨液性的拨液区域，去角部Ｃ，...
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