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制造GOI半导体结构的方法及使用这些方法制造的半导体结构技术
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下载制造GOI半导体结构的方法及使用这些方法制造的半导体结构的技术资料
文档序号:3237113
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一种半导体结构包括单晶体含锗层,优选基本上纯锗,衬底,以及将含锗层与衬底分开的掩埋绝缘层。多孔层,其可以是多孔硅,在衬底上形成,而含锗层在多孔硅层上形成。可以将多孔层转变为提供掩埋绝缘层的氧化层。作为选择,可以将含锗层从多孔层转移到另一个衬...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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