温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种载台装置，涉及半导体装备领域。一种载台装置包括：基座，所述基座具有用于放置物件的承载面；吸附机构，所述吸附机构包括吸附件，所述吸附件可升降地设置于所述基座，以使所述吸附件能够相对于所述承载面凸出或回缩；夹紧机构，所述夹紧机构...
该专利属于苏州迈为科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈为科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。