下载一种直拉法单晶炉中监测并控制氩气温度的装置及单晶炉的技术资料

文档序号:32370115

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种直拉法单晶炉中监测并控制氩气温度的装置,包括氩气加热管,氩气加热管套设在单晶炉的氩气进气管上,氩气加热管表面缠绕有加热丝,加热丝的一端通过导线连接在电源上,加热丝与电源之间还设有过热保护装置,加热丝的另一端通过导线与红外测...
该专利属于包头美科硅能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过包头美科硅能源有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。