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本发明提供一种处理室的更换容易的真空处理装置，本发明的真空处理装置（１）具有处理室（２０）和输出输入室（１０）。输出输入室（１０）固定在处理室（２０）的上方位置。另一方面，处理室（２０）可通过升降机构（５０）下降，所以若使处理室（２０）下降...
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