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高压N型金属氧化物半导体管及其制备方法技术
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文档序号:3236878
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一种线性掺杂的高压N型金属氧化物半导体管,在N型衬底上设有P型阱和N型漂移区,在P型阱内设有P型接触孔和N型源,在N型漂移区内设有N型漏,在P型阱和N型漂移区的上方设有栅氧化层,在栅氧化层上方设有多晶硅栅且多晶硅栅位于P型阱与N型漂移区交界...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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