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处理系统（１００）包括：搬送室（１５０）、与搬送室相连的多个室（１４０、１６０）、附设在搬送室内的搬送装置（１８０）、控制搬送装置的控制部（２００）。搬送装置包括能够滑动动作的基台（１８２）、能够旋转动作的搬送臂（１８５Ａ、１８５Ｂ）。控制...
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