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提出了一种具有热电路的晶片及其电源，使晶片能够不使用任何附加加热或冷却系统对其自身进行加热或冷却。晶片包括安装在晶片一侧上的热电路，以能够对晶片进行自加热或自冷却，从而对在晶片表面上形成的半导体器件执行加热工艺或冷却工艺，并且与半导体器件交...
该专利属于株式会社JOEUN技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社JOEUN技术授权不得商用。

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