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本发明涉及一种基板处理方法以及基板处理装置，利用ＩＰＡ等有机溶剂成分使被液体浸湿的基板表面干燥，在抑制有机溶剂成分的消耗量的同时，使基板表面良好地干燥。在漂洗处理之后，使基板（Ｗ）旋转而从基板表面（Ｗｆ）甩掉并除去附着于基板表面（Ｗｆ）上的...
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