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基于金刚石肖特基二极管的高温工作的逻辑器件及其制备方法技术
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下载基于金刚石肖特基二极管的高温工作的逻辑器件及其制备方法的技术资料
文档序号:32361614
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基于金刚石肖特基二极管的高温工作的逻辑器件及其制备方法,它要解决现有高集成度的电子元器件等由于发热导致电路不能正常工作的问题。本发明基于金刚石肖特基二极管的逻辑器件在金刚石衬底上沉积有掺硼或者掺磷金刚石层,在掺硼或者掺磷金刚石层表面上沉积有...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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