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本发明公开了一种用于红外焦平面阵列探测器的复合铟柱及制备方法，该复合铟柱的特征是：外层由黄金包覆，内填满铟构成。复合铟柱制备的特征是首先在光刻孔内壁形成厚度为５００＊～７００＊黄金层，然后再真空蒸发淀积铟，部分铟自然填入由黄金层为内壁的孔内...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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