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一种存算一体化的叠层铁电隧道结制造技术
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文档序号:32359585
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本发明公开了一种存算一体化的叠层铁电隧道结。该叠层铁电隧道结自下往上的结构为:第一层为半导体衬底,用作底电极;第二层为铁电体;第三层为金属或半导体,用作中间电极;第四层为铁电体;第五层为介电体;第六层为金属,用作顶电极;底电极与顶电极的材料...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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