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一种单晶硅结构层剪切模量在线测试结构及其测试方法技术
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文档序号:32359314
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本发明公开了一种单晶硅结构层剪切模量在线测试结构,包括上下方向设置的单晶硅上极板和单晶硅下极板,单晶硅上极板和单晶硅下极板形状和大小相同,单晶硅上极板水平连有单晶硅驱动梁的一端,单晶硅驱动梁的另一端水平且垂直连有扭转梁的中心位置,扭转梁左右...
该专利属于河海大学所有,仅供学习研究参考,未经过河海大学授权不得商用。
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