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本发明实施例提供了一种垂直腔面发射激光器以及制备方法。该垂直腔面发射激光器包括：衬底；阵列排布的发光单元，发光单元位于衬底的表面；其中，发光单元设置有发光孔、第一通孔和氧化沟槽；发光孔用于出射光线；第一通孔围绕发光孔设置；氧化沟槽围绕发光孔...
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