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本发明公开了一种气体流量控制装置校验的方法，用于在线校验气体流量控制装置ＭＦＣ的误差，所述气体流量控制安装于向反应室供应工艺气体的气路上，包括以下步骤：首先将反应室抽到真空状态；然后设置被校验ＭＦＣ流量为Ｑｖ，向反应室通入工艺气体，同时向反...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。