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简易高效硅片腐蚀杯制造技术
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文档序号:3235720
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高效密封简易腐蚀杯为玻璃式石英玻璃制品。由于在杯盖与杯底间采用环形水槽密封取代了磨口密封,杯盖部为夹层冷凝蛇形管结构,保证了密封安全可靠。盖口处不受力,开合方便。不易损坏,部件有良好的互换性。和同种材料磨口杯相比使用寿命长,制作成本低。此结...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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