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本发明提供一种基板处理装置，能更可靠地防止处理液（雾滴）侵入相邻的处理室。该基板处理装置具有对基板（Ｓ）实施药液处理的湿式处理部（２）和对基板（Ｓ）实施作为前处理的干式清洗等处理的前处理部（１）。各处理部（１、２）的处理室（１０、２０）经由...
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