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本发明涉及用于生产线的管理系统和管理方法，具体用于构造一个ＣＩＭ系统，该系统能够减轻计算机主机的负担，并且能够由基片单元通知加工条件以及由基片单元通知工作的一条启动指令。本发明中，在每个生产装置里而不是在一个计算机主机里，对应用于每个基片的...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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