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一种具有简化排气结构的衬底处理设备包括：衬底支撑单元，其配置为支撑衬底；衬底支撑单元上的第一盖，该第一盖包括至少一个处理单元；第一盖下方的第二盖，第二盖包括分隔壁；以及布置在第一盖和第二盖下方的支撑件，该支撑件包括开口和开口上的座部，其中第...
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