下载测定系统和测定方法的技术资料

文档序号:32354233

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本发明提供一种测定系统和测定方法,能够稳定地测定光半导体元件的准确的测定值。在测定方法中,通过光探针的入射端面来接收从光半导体元件输出的出射光,其中,使光半导体元件与光探针的相对位置沿与出射光的光轴交叉的平面发生变化,在多个位置处分别测定出...
该专利属于日本麦可罗尼克斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日本麦可罗尼克斯股份有限公司授权不得商用。

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