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半导体芯片的拾取装置及拾取方法制造方法及图纸
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文档序号:3235277
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本发明涉及半导体芯片的拾取装置及拾取方法。设有包含从紧贴面(22)出入的顶端(33b)的刮擦件(33),及边堵塞位于刮擦件移动方向上的开口(41)边与刮擦件一起移动的挡片(23)。当拾取半导体芯片(15)时,将半导体芯片一端(15a)与刮擦...
该专利属于株式会社新川所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社新川授权不得商用。
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