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公开了一种气隙型薄膜体声波谐振器(FBAR)，包括：衬底，包括气隙部分，所述气隙部分具有衬底腔并且形成在顶部表面中；下电极，形成在所述衬底上方；压电层，形成在所述下电极上方；以及上电极，形成在所述压电层上方，并且其一侧的电极边缘被形成为与所...
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