下载半导体器件及其制造方法的技术资料

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公开了一种半导体器件,所述半导体器件包括在衬底上形成的NMOS晶体管和PMOS晶体管,所述NMOS晶体管和PMOS晶体管分别包括栅极、源极和漏极掺杂区,以及在栅极两侧形成的侧墙;其特征在于:所述NMOS晶体管栅极两侧的侧墙具有拉应力,所述P...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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