下载使用加热源组合的脉冲式处理半导体加热方法的技术资料

文档序号:3234831

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一种用于处理对象的方法,所述对象具有包括第一和第二表面的相反主表面,所述方法包括以下步骤: 使用加热装置在背景加热模式期间以可控制的方式将热施加给对象,由此选择性地加热对象以至少通常地在整个对象上产生第一温度; 通过使第一表面经历能量的至少...
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