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用于显示工件表面的OCT扫描区域和/或用于测量表面特征的方法以及相关联的OCT系统技术方案
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下载用于显示工件表面的OCT扫描区域和/或用于测量表面特征的方法以及相关联的OCT系统的技术资料
文档序号:32346197
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一种OCT系统(1),包括用于通过光学地扫描工件表面(2)来记录工件表面(2)的高度形廓(28)的光学相干断层扫描仪(5),根据本发明,该系统包括相机(4)和显示器(24),该相机用于记录工件表面(2)的图像(23),该显示器用于共同地、尤...
该专利属于通快激光有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过通快激光有限责任公司授权不得商用。
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