用于显示工件表面的OCT扫描区域和/或用于测量表面特征的方法以及相关联的OCT系统技术方案

一种OCT系统(1)，包括用于通过光学地扫描工件表面(2)来记录工件表面(2)的高度形廓(28)的光学相干断层扫描仪(5)，根据本发明专利技术，该系统包括相机(4)和显示器(24)，该相机用于记录工件表面(2)的图像(23)，该显示器用于共同地、尤其以叠加的方式显示工件表面(2)的所记录的图像(23)和所记录的高度形廓(28)。录的图像(23)和所记录的高度形廓(28)。录的图像(23)和所记录的高度形廓(28)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于显示工件表面的OCT扫描区域和/或用于测量表面特征的方法以及相关联的OCT系统


[0001]本专利技术涉及一种用于显示工件表面的光学扫描区域和/或用于测量表面特征的方法，以及一种适用于执行此方法的OCT系统。

技术介绍

[0002]在现有技术中已知使用光学相干断层扫描(OCT：optical cohenrence tomography)的成像方法。可以借助于OCT、尤其使用小场扫描仪来记录工件的三维图像。这种被称为OCT扫描的图像记录以各种几何形状、尤其沿工件的表面以线(线扫描)进行。为了生成这样具有有意义的分辨率和视场的形廓图像，必须以数百毫秒的高时间花费执行相对大量的OCT扫描。必须在大的区域上安排线扫描。此外，在扫描过程开始时，用于执行OCT扫描的光学相干断层扫描仪在工件表面的平面中相对于工件的正确定位通常是未知的。确定定位同样需要在大的时间花费的情况下的大量OCT扫描。通过OCT扫描生成的形廓图像通常很难对应到工件的区域。
[0003]本申请人发表的文章“Controlling laser processing via op本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于显示工件表面(2)的光学扫描区域的方法，其特征在于，具有以下步骤：
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记录所述工件表面(2)的图像(23)，
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通过借助于光学相干断层扫描仪(5)对所述工件表面(2)进行光学扫描来记录所述工件表面(2)的高度形廓(28)，以及
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共同地、尤其以叠加的方式显示所述工件表面(2)的记录的所述图像(23)和记录的所述高度形廓(28)。2.根据权利要求1所述的方法，其中，在显示的所述工件表面(2)的图像(23)内选择图像区段(26)，随后使得所述工件表面(2)的要由所述光学相干断层扫描仪(5)扫描的区域限制到所述图像区段上。3.根据权利要求2所述的方法，其中，在显示的所述图像(23)上以图形方式、尤其借助于鼠标、借助于捏拉缩放功能或借助于位置输入来直接选择所述图像区段(26)。4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，相对于所述光学相干断层扫描仪(5)的测量臂(14)同轴地记录所述图像(23)。5.一种用于测量工件表面(2)的表面特征的方法，其特征在于，具有以下步骤：
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记录所述工件表面(2)的图像(23)，
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根据记录的所述图像(23)来确定待测量的至少一个表面特征，以及
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通过借助于光学相干断层扫描仪(5)在确定的所述至少一个表面特征的位置处光学地扫描所述工件表面(2)来记录所述工件表面(2)的高度形廓(28)，用于测量确定的所述至少一个表面特征。6.根据权利要求5所述的方法，其中，根据记录的所述图像(23)以自动方式确定待测量的所述至少一个表面特征。7.根据权利要求5所述的方法，其中，根据显示的所述图像(23)手动确定待测量的所述至少一个表面特征。8.根据权利要求7所述的方法，其中，在所述工件表面(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：K，
申请(专利权)人：通快激光有限责任公司，
类型：发明
国别省市：