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文档序号:3234551

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本发明揭露一种低温多晶硅驱动电路及薄膜晶体管的制作方法,包括提供基板、形成有源层、形成栅极绝缘层、形成具有延伸部的介电层,以及形成栅极电极。上述栅极电极及介电层的延伸部可同时形成,且作为掩模,使得可以一次掺杂工艺,同时形成轻掺杂源/漏极区域...
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