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非易失性存储器的制造方法技术
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文档序号:3234493
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本发明提供一种非易失性存储器的制造方法,包括:于基底上依序形成穿隧介电层、第一导体层与第一掩模层;于第一掩模层、第一导体层、穿隧介电层与基底中形成隔离结构;移除第一掩模层;移除源极区域与漏极区域的第一导体层与穿隧介电层;于源极区域与漏极区域...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。
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