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一种可避免有源层开孔过刻的阵列基板及其制造方法技术
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下载一种可避免有源层开孔过刻的阵列基板及其制造方法的技术资料
文档序号:32343036
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本发明公开了一种可避免有源层开孔过刻的阵列基板及其制造方法,包括Array侧基板玻璃,所述Array侧基板玻璃上依次设有MetalⅠ金属层、栅极绝缘层和有缘层、刻蚀阻挡层、MetalⅡ金属层,所述MetalⅡ金属层上覆盖有PV绝缘层,所述P...
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