下载固晶头角度校正机构及固晶设备的技术资料

文档序号:32342129

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本发明公开了一种固晶头角度校正机构及固晶设备,涉及半导体设备领域;其中,固晶头角度校正机构包括:吸附机构、第一驱动模块和控制机构,吸附机构设有旋转轴,旋转轴的一端用于吸附晶片;第一驱动模块与吸附机构连接,第一驱动模块用于驱动旋转轴旋转至预设...
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