温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种基材支撑单元以及使用该基材支撑单元的基材处理设备。该基材支撑单元包括基板和在该基板上形成的支撑部。该支撑部包括两个支撑杆和多个支撑件。所述两个支撑杆沿预定方向彼此分开地延伸。所述多个支撑件沿预定方向彼此分开地设置。各支撑件均与...
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。