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一种用于3D MEMS探针网清洗工序的固定夹持装置，包括上盖板和下底板。上盖板开设第一通孔，其下端面盖设上纱网；第一通孔内设有上直线轴承，包括第一内圈和第一外圈；第一通孔内还嵌有上顶圈，其下端设有第一抵持部；上顶圈与第一通孔螺纹配合。下底板...
该专利属于强一半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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