下载发光元件的制造方法、化合物半导体晶圆及发光元件的技术资料

文档序号:3234098

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本发明提供一种发光元件的制造方法,是在成长用单结晶基板1上,依次外延生长由Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体所构成的发光层部24与电流扩散层7,其中,依次实施以有机金属气相成长法将发光层部24外延生长于成长用单结晶基板1上的有机金属气相成长步骤、以及以氢...
该专利属于信越半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越半导体株式会社授权不得商用。

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