温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种传输机器人，特别是涉及在多个工位之间传送诸如硅片的一种传输机器人。该传输机器人由机器人基体，升降旋转机构，臂体伸缩机构，末端执行器翻转机构，运动控制系统，真空吸附系统构成。基体内的旋转升降机构通过胀套与臂体伸缩机构相连，末...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。