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一种激光加工装置以及激光加工方法，沿着激光（８）的光路依次配置狭缝掩膜（２０）、中继透镜（１１）、物镜（１２）、气窗（１４）以及作为被加工物的基板（１５）。狭缝掩膜（２０）例如具有直线形状狭缝（２３）以及迂回形状狭缝（２４）。使这样的狭缝形...
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