温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种小片传送方法及其装置，基本上包括用于从半导体晶圆（１）中拾取小片（４）的夹头部分（１２）、用于使夹头部分在Ｚ轴线方向上轻微地往复移动至并远离晶圆（１）的Ｚ轴线驱动机构（１３）、用于使臂（４５）往复旋转的θ轴线旋转机构（１４）...
该专利属于埃姆特克株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过埃姆特克株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。