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一种消除隔行字线桥接的方法技术
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文档序号:3233629
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本发明一种消除隔行字线桥接方法,在存储阵列周围排列虚拟单元,这样就使得在晶圆的生产过程中,隔行字线桥接就不会发生,并且不对晶圆的功效产生任何的影响。本发明能有效地消除隔行字线桥接,提高晶圆的良率。...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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