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多介质FINFET结构和方法技术
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文档序号:3233618
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一种鳍片型场效应晶体管(FinFET)结构,包括: 衬底; 鳍片,从所述衬底延伸;以及 栅极介质,覆盖所述鳍片, 其中所述栅极介质具有不同的厚度。...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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