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一种二极管型异质结气体传感器芯片及其制备方法技术
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文档序号:32329163
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本发明涉及气体传感器技术领域,尤其涉及一种二极管型异质结气体传感器芯片及其制备方法。本发明通过在衬底表面设置零维金属氧化物二极管型异质结结构或一维金属氧化物二极管型异质结结构可以大大提高所述异质结在进行气体检测时,所述异质结与被检测气体的接...
该专利属于湖州师范学院所有,仅供学习研究参考,未经过湖州师范学院授权不得商用。
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