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本发明提供一种在抗蚀剂溶剂中的难溶解成分减少，由此发挥高抗蚀性能的树脂及其制造方法。一种光致抗蚀剂用树脂，其包含丙烯酸系树脂，所述光致抗蚀剂用树脂在以树脂固体成分浓度为5重量％的方式溶解于丙二醇单甲醚乙酸酯时，使用平成15年度厚生劳动省告示...
该专利属于株式会社大赛璐所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社大赛璐授权不得商用。

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