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消除磁性随机存取存储器器件结构中的电短路的干法蚀刻停止工艺制造技术
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下载消除磁性随机存取存储器器件结构中的电短路的干法蚀刻停止工艺的技术资料
文档序号:3232288
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本发明总地涉及半导体制造并具体涉及制造磁性隧道结器件。具体地,本发明涉及利用隧道结中的电介质层作为蚀刻停止层以消除来自于图案化工艺的电短路的方法。...
该专利属于泰格尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰格尔公司授权不得商用。
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