下载芯体结构及压力传感器的技术资料

文档序号:32321967

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本实用新型提供一种芯体结构及压力传感器,该芯体结构包括支撑结构、压力敏感元件、保护罩以及保护结构,支撑结构具有贯设所述支撑结构的介质孔、以及安装面,压力敏感元件安装在所述安装面并覆盖所述介质孔,保护罩安装在所述安装面且罩设所述压力敏感元件,...
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